(4)Absatz 4,Unternehmen, die für Zeiträume vor dem 1. April 2020 die Befreiung in Anspruch nehmen wollen, haben zudem unverzüglich, spätestens bis zum 31. März 2021, dem in § 3 Abs. 2 genannten Finanzamt Angaben über die Erfüllung der Voraussetzungen der Verordnung (EU) Nr. 1407/2013 über die Anwendung der Artikel 107 und 108 des Vertrags über die Arbeitsweise der Europäischen Union auf De-minimis-Beihilfen, ABl. Nr. L 352 vom 24.12.2013 S. 1, zuletzt geändert durch Verordnung (EU) Nr. 2020/972, ABl. Nr. L 215 vom 7.7.2020 S. 3, zu machen, insbesondere über in den vergangenen drei Steuerjahren bereits in Anspruch genommene Förderungen, die dieser EU-Verordnung unterliegen. Sobald der Gesamtbetrag der einem Unternehmen gewährten Förderungen in einem Zeitraum von drei Steuerjahren den Höchstbetrag von 200 000 Euro erreicht oder eine der Voraussetzungen der genannten Verordnung nicht mehr erfüllt wird, kann dieses Unternehmen keine weitere Steuerbefreiung nach dieser Verordnung in Anspruch nehmen. Für bereits verbrauchte Elektrizitätsmengen, durch deren Befreiung der Höchstbetrag überschritten wird, gilt § 5.Unternehmen, die für Zeiträume vor dem 1. April 2020 die Befreiung in Anspruch nehmen wollen, haben zudem unverzüglich, spätestens bis zum 31. März 2021, dem in Paragraph 3, Absatz 2, genannten Finanzamt Angaben über die Erfüllung der Voraussetzungen der Verordnung (EU) Nr. 1407 aus 2013, über die Anwendung der Artikel 107 und 108 des Vertrags über die Arbeitsweise der Europäischen Union auf De-minimis-Beihilfen, Amtsblatt Nummer L 352 vom 24.12.2013 Seite 1, zuletzt geändert durch Verordnung (EU) Nr. 2020/972, Amtsblatt Nummer L 215 vom 7.7.2020 Seite 3, zu machen, insbesondere über in den vergangenen drei Steuerjahren bereits in Anspruch genommene Förderungen, die dieser EU-Verordnung unterliegen. Sobald der Gesamtbetrag der einem Unternehmen gewährten Förderungen in einem Zeitraum von drei Steuerjahren den Höchstbetrag von 200 000 Euro erreicht oder eine der Voraussetzungen der genannten Verordnung nicht mehr erfüllt wird, kann dieses Unternehmen keine weitere Steuerbefreiung nach dieser Verordnung in Anspruch nehmen. Für bereits verbrauchte Elektrizitätsmengen, durch deren Befreiung der Höchstbetrag überschritten wird, gilt Paragraph 5,